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扫描探针显微镜系统
WOJP06305203 2006-3-16 发明申请
2006-10-5
一个扫描探针显微镜系统能够识别一个元件与原子销售的空间分辨率,包括 : 一个X-射线照射装置用于照射测量对象具有高亮度的单色X-射线具有一束直径小于约1; 一探头设置成面对到所述测量对象; 一处理装置,用于检测和处理一个隧道电流通过所述探针; 和一个扫描探针显微镜具有一个扫描装置,用于相对移动所述测量对象,所述探头,和所述该高亮度的入射位置的单色X-射线到所述测量对象。
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