| 光学显微镜 |
| JP2005073972 2005-3-15 发明申请 |
| 2006-9-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一光学显微镜实现所述缩短的测量时间。溶液 : 该光学显微镜是配备有 : 一激光束源11; 一圆柱形透镜15激光束转换成线性光束; 一电磁镜23使该线性光束扫描; 一个物镜27聚光的光束的光束扫描通过所述电磁镜23被直线; 一第一发出的光束分束器22分支光62，其从激光波长是不同的波长和其从样品28到该物镜27侧发出的从所述激光束; 一分光镜33具有一个入射狭缝32设置在一个所述发射光62入射其上侧通过所述第一分束器22分支是由入射和空间上分散所述发射光62穿过所述在根据与所述波长的入射狭缝32; 和一个检测器34检测所发射的光62通过所述的分散分光镜33。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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