| 低真空扫描电子显微镜 |
| JP2005074774 2005-3-16 发明申请 |
| 2006-9-28 |
| 要解决的问题 : 以一种足够安全的偏转区域W和提高分辨率的SEM照片，作为到一种低真空SEM进行差分耗尽用于保持一压力比的一种电-光系统16和一个样品室17在一给定值，满足给定的所述探针的电流值或更多，和观察原料食品或一种样品与一种低真空中的水分。溶液 : 所述的低真空SEM被提供有一物镜光阑7的电子束2在所述的电-光系统16; 和一个三-步骤使用的物镜光阑11还作为一个用于差分排出孔，用于保持一压力比X以所述样品室17。这里，该电子束2偏转的支点12所述的电-光系统16中被设置在一中间步骤112所述三步的物镜光阑11。与此，一个样品台14上的一偏转区域W是保持大，和需要的电流体积获得的是，以提高所述的低真空SEM的分辨率。版权 : (C)2006，膜℃。 |
微信公众号