| 带电粒子光束的偏转机构，带电粒子束的装置，和扫描电子显微镜 |
| JP2005074792 2005-3-16 发明申请 |
| 2006-9-28 |
| 要解决的问题 : 以防止中的一种噪声分量的占用比增加的幅度驱动当前，即使如果所述幅度的所述驱动电流提供给一用于偏转的带电偏转线圈是由小粒子束如电子束。溶液 : 所述偏转机构是设置有 : 一用于偏转该带电粒子光束的偏转线圈46; 一个负载元件52连接在平行于所述偏转线圈4通过一第一开关装置51; 一用于供给所述偏转电流供给部10线圈4与驱动电流; 和一个控制部分，用于控制所述电流供给部10和第一开关装置51。所述控制部控制所述驱动电流从所述电流供给部10和所述第一开关的切换装置51根据与一个偏转该带电粒子的体积中的光束设定。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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