| 半-金属涂覆的原子力显微镜针尖cro2 |
| KR1020060076264 2006-8-11 发明申请 |
| 2006-9-28 |
| 目的 : 一种原子力显微镜探针涂覆有半-金属铬氧化物被提供到所述探针的增加所述强度通过使用所述的半-金属铬氧化物涂覆所述探针。结构 : 一种原子力显微镜探针涂覆有半-金属铬氧化物涂层是通过制造一种半-金属铬氧化物薄膜通过所述化学气相沉积方法。在所述化学气相沉积，CVD反应器incuding一两个区电炉和一个石英管被使用，所述探针涂有铬氧化物可被用于测量所述表面，所述导电性，和所述的磁性。kipo2006 |
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