原子力显微镜和使用该原子力显微镜的能量耗散成像方法
 
US11375686  2006-3-14  发明申请

2006-9-28
 
  一种原子力显微镜和使用这种原子力显微镜的能量耗散成像方法。 一种原子力显微镜,具有悬臂,悬臂上设置有用于与样品接触的探针, 振动单元,用于振动悬臂; 振动控制单元,用于基于振幅的预设值来控制振动单元;振动检测器,用于检测悬臂的振动的振幅;以及成像单元,用于基于悬臂的振动来创建能量耗散图像。 基于振幅检测单元检测到的振幅值与预设振幅值之间的差值的误差信息被反馈到振动单元。 因此,振动单元振动悬臂以驱动悬臂进入共振。 成像单元基于差分信息创建能量耗散图像。
 
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