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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于扫描探针显微镜的探针及其制造方法

US11089165 2005-3-24 发明申请

2006-9-28

本发明公开了一种用于仪器的探针组件和制造方法，所述探针组件包括衬底和悬臂，所述悬臂具有与制造期间的典型对准误差无关的长度。在一个实施例中，探针组件包括插入在衬底和悬臂之间的缓冲部分。悬臂从缓冲部分延伸，并且缓冲部分的一部分延伸超过衬底的边缘。所述缓冲部分的所述部分比所述悬臂更硬。制造探针组件的相应方法便于批量制造而不损害探针性能。