| 扫描探针显微镜 |
| JP2005065982 2005-3-9 发明申请 |
| 2006-9-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够精确地控制所述探针的长度通过测量所述所述探头安装在一装置的长度，所述探头的精确地估计磨损状态，良好地保持所述尖端该探针测量期间的状态，使用该探针的寿命延长，并保持良好的精度的测量\/检查。溶液 : 该扫描探针显微镜是配备有一探头部分(21，22或该等)具有所述探头20面对样品12，一种探针移动机构14，15，23，29，用于移动所述的探针，一个测量部分63(24，31，32)用于测量所述探针和样品之间产生一物理量，和一个样本级11，其中所述样品被放置。所述用于测量所述样品表面的扫描探针显微镜扫描所述样品表面通过所述探头具有一配备有一探头的结构长度测量机构62用于测量所述所述探针的长度在所述轴向方向20。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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