| 扫描器，和扫描探针显微镜 |
| JP2005070604 2005-3-14 发明申请 |
| 2006-9-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一个大的小尺寸管扫描器位移。溶液 : 该扫描器是提供具有一底座，一对双压电晶片型压电元件的设置与所述两个相向可变形的双压电晶片型压电元件通过重叠两个矩形压电元件可扩展的相反-定向每个其它与电极之间，同时符合一个变形的方向，和具有一个端连接到所述基座中的不同位置，和一阶段所支持的所述所述的双压电晶片型压电元件的其它端部。在所述的扫描器，所述的双压电晶片型压电元件沿所述的基于相同的方向上的一电压施加变形以所述电极以使所述级。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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