| 控制探针针尖倾斜角的扫描探针显微镜系统和方法 |
| EP18717684 2018-4-6 发明授权 |
| 2023-10-25 |
| 一种用探针扫描特征的方法，所述探针包括悬臂安装件、从所述悬臂安装件延伸到自由端的悬臂、以及由所述悬臂的所述自由端承载的探针尖端。 相对于参考表面测量所述探针的取向以生成探针取向测量结果。 参考表面限定了参考表面轴线，该参考表面轴线垂直于参考表面，并且探针针尖具有相对于参考表面轴线的参考倾斜角。 根据所述探针定向测量改变所述悬臂的形状，使得所述探针针尖相对于所述悬臂安装件移动，并且所述参考倾斜角从第一参考倾斜角减小到第二参考倾斜角。 用所述探针扫描样品表面，其中所述样品表面限定垂直于所述样品表面的样品表面轴，并且所述探针尖端具有相对于所述样品表面轴的扫描倾斜角。 在扫描样品表面期间，移动悬臂安装件，使得探针针尖以低于第一参考倾斜角的扫描倾斜角插入样品表面中的特征中。 |
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