| 扫描电子显微镜 |
| JP2005063770 2005-3-8 发明申请 |
| 2006-9-21 |
| 要解决的问题 : 以实现一种扫描电子显微镜，其检测在所述之间的相对位置变化一容器装有一个样品和一用于将所述容器中所述样品级，和容易地和可靠地消除了影响在图像信息通过振动。溶液 : 一个图像处理器26中，该级之间的相对位置信息和所述壁表面的一样品室当通过电子扫描光束是从一测量装置18获取的。所述的相对位置信息的基础上，像素位置校正是由以所获取的图像信息由所述扫描通过使用一个像素位置校正装置97; 用于消除像素中发生遗漏或重叠图像生成该像素执行位置校正是通过使用一个图像生成装置98; 和一个通过使用一种图像显示的图像被切割的切割装置99，因此简单和可靠地消除所述当该阶段是振动影响在所述图像信息的所述扫描期间所述电子束。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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