| 扫描电子显微镜 |
| JP2005068780 2005-3-11 发明申请 |
| 2006-9-21 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能够提供一种高-分辨率的图像，即使如果一样品当一个表面是倾斜的所述样品是通过一减速观察到方法用于施加一个负电压到该样品。溶液 : 该扫描电子显微镜是这样构成的绝缘构件5d是一种内磁极之间设置5a和一个外磁极5b; 和所述内磁极5a和外磁极5b是从每个其它电绝缘。该样品6被安装在样品基座7通过被提供有电连续性; 和所述样品基座7被安装在一个样品台8通过被电绝缘从所述样品级8。当一负电压被施加到所述样品基座7和外磁极5b通过一个功率源9，该样品基座7，该样品6和外磁极5b被设置在所述相同的电位; 和所述电场的对称性与一个电子束相对于所述的光学轴是保持即使该样品被倾斜。从而，一个高-分辨率的图像可以被观察的情况中甚至观察到的低加速电压与一简单结构和不进行复杂的控制。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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