| 扫描探针显微镜 |
| US11374842 2006-3-14 发明申请 |
| 2006-9-21 |
| 本发明提供一种不受漏光影响，高精度地测定试样的电特性的扫描探针显微镜。 扫描探针显微镜具有自检式探针6，该探针6包括悬臂3，悬臂3的探针2设置在悬臂3的前端， 支撑悬臂(3)的支撑部(4)，以及电阻值根据悬臂(3)的变化量而变化的压阻元件(5)； 检测装置检测通过压阻元件(5)的电流值，以检测悬臂(3)的变化量； 移动装置，用于沿X和Y方向以及Z方向相对移动将样品安装在其上的样品台和探针； 控制装置，其控制移动装置以使探针2与样品表面之间的距离固定，并测量样品S的表面形状； 施加装置，用于在探针2和样品表面之间施加预定电压； 以及测量装置，用于测量由所施加的电压引起的电特性信息； 其中探头2伸长到悬臂3的基端侧并电连接到导电膜28，导电膜28可电连接到测量装置。 |
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