| 扫描探针显微镜 |
| JP2005056843 2005-3-2 发明申请 |
| 2006-9-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够防止一个问题，其中的光以外的光用于测量，诸如照明光，作为噪声成为障碍物对照观察。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个探头，用于执行两个平行于样品表面和垂直方向扫描运动所述样品表面相对于所述样品表面上; 一悬臂具有一探头在其尖端; 一个用于测量光的辐射装置用于测量用于辐射光到所述悬臂; 一反射的光检测装置，用于检测反射的照射光从该悬臂与所述用于测量光; 一个观察装置，用于取样，作为观测数据，所述悬臂的偏转量时出现的所述探针接近基于与所述样品表面或接触所述的检测结果上所反射的光检测装置，以及一个运动控制装置，用于控制所述两个方向扫描和垂直运动。该显微镜还包括一个禁止装置，用于禁止所述的运动通过所述运动控制装置和采样基于所述观测数据在所述反射的光通过所述观察装置用于测量光以外的光时被照射到所述悬臂。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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