| 扫描探针显微镜 |
| JP2005061886 2005-3-7 发明申请 |
| 2006-9-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够防止噪声的降低和准确地进行测量，由只制造由一光源，用于检测所反射的光位移的一悬臂进入光接收元件不禁止该测量或降低所述的可操作性。溶液 : 所述扫描探针显微镜测量样品表面上的形状信息或所述样品上的物理信息，通过使一与所述样品探针靠近或接触表面。所述扫描探针显微镜包括，在一壳体8具有光阻塞效应，该悬臂2具有所述锐化探头在其自由端; 样品移动机构4用于相对移动所述的悬臂2和样品3; 和一个用于检测所述位移的位移检测机构所述悬臂的自由端2通过交互所述探针的尖端之间的作用和所述样品3使用该光源5用于检测和该光接收元件1。一偏振器10被设置在所述壳体的开口8，和第二偏振器9是设置在所述偏振器之间的光学路径10和光接收元件1，使得所述偏振器10是正交以所述偏振角。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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