| 扫描探针显微镜 |
| JP2006148812 2006-5-29 发明申请 |
| 2006-9-14 |
| 要解决的问题 : 提供一种用于检测显微样品分散方法广泛基板上，在短时间; 和，以提供一种方法用于可靠地移动所述样品到所述衬底上的任何小的位置，通过使用探针所述的扫描探针显微镜与该探针\/样品上的损伤少。溶液 : 该方法中，同时使光栅扫描的低功率，与特定的光栅扫描场角的高功率被执行，当达到一定的位置\/条件电平，以产生一样品检测机构。还运动期间，一个信号指示所述探针(Z信号)下直接高度，一移位成比例的信号长度从该初始设定所述探针的Z-方向上的力工作位置和所述基板直接下，所述探针或该样品(误差信号)，所述探头和水平信号之间的工作和所述基板直接下，所述探针或所述样品(摩擦信号)被检测，以产生另一机构，用于显示时间线信号和瞬时值信号的这些信号或所述误差信号转换成所述Z-定向反应力和摩擦信号到XY-定向反应力通过一控制杆，它们以通知操作者的。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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