| 自动聚焦显微镜 |
| JP2005057676 2005-3-2 发明申请 |
| 2006-9-14 |
| 要解决的问题 : 以始终稳定地执行一个用于通过校正样品高精度的聚焦操作的偏差聚焦位置由一个波长之间的差引起的图像观察系统和一个聚焦检测系统。溶液 : 本发明的自动聚焦显微镜中，即使在所述多个物镜的透镜的情况下10a和10被用于，一种波内表面转换器20是一个光路径上设置一个聚焦检测系统1中的顺序以正确的该聚焦位置的偏差通过一个第一测量的波长之间的差引起的光在紫外区用于通过所述图像观察系统16和第二测量红外区域中的光用于通过所述聚焦检测系统1。该波表面转换器20是用于给出第二测量的光的波表面形状匹配的每个所述物镜的透镜10a和10b。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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