| 扫描探针显微镜 |
| KR1020060020303 2006-3-3 发明申请 |
| 2006-9-14 |
| 目的 : 一种扫描探针显微镜是提供以一个探针运动转换机构具有一个小的操作范围在所述X-Y方向和样品移动机构具有一大操作范围在所述X-Y方向以观察两个微小区和一宽的区域。结构 : 一扫描探针显微镜检测所述三维形状和物理量一个样品(12)通过扫描一表面的所述样品与一个微小的探针。所述扫描探针显微镜包括一个探针运动机构和样品移动机构。所述探头移动机构移动一个探针(13)在所述X-Y-Z方向上。该样品移动机构移动该样品在所述X-Y-Z方向，kipo2006 |
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