| 扫描探针显微镜 |
| CN200610058365.5 2006-3-3 发明申请 |
| 2006-9-13 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，它根据观察对 象或观察目的，无需交换扫描仪，在维持高分辨率的状态下， 可进行微小范围至广域的观察。该扫描探针显微镜中，设有使 探针13在X－Y－Z轴方向上移动的探针侧扫描仪10与使样 品12在X－Y－Z轴方向上移动的样品侧扫描仪11这两个扫 描仪。使用最大扫描范围较小的扫描仪作为探针侧扫描仪10， 使用最大扫描范围较大的扫描仪作为样品侧扫描仪11，并根据 观察对象或观察目的掉换二者而使用。或者，利用探针侧扫描 仪10进行微小范围的扫描，并且通过样品侧扫描仪11使观察 视野移动。 |
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