| 扫描探针显微镜功能的盘和用于测量所述尖端之间的电压\/电流的方法和所述样品使用功能的盘扫描探针显微镜 |
| KR1020040110034 2004-12-22 发明授权 |
| 2006-9-13 |
| 本发明使用一个扫描探针显微镜是指以扫描光刻工艺，可在探头提供所述衬底到促进电流和电压可以测量在一个高的功能与其涉及一种测量盘的方法。本发明是指以扫描探针显微镜的同时，每个终端盘之间的绝缘体的导电特性，其中一个磁盘组合的两侧一顶板，一盘是由一较低的，外部的测量装置连接到端子10和9下部盘一顶板，一磁盘之间的所述偏置电压或电流流过所述基板探针在应用一种的电压或电流以一种测量方法和，在这个时间，该关系和耦合到所述外部与压力测量装置，具有一导电特性，同时整体的两侧之间的绝缘体，其组合的一个盘一顶片，一个盘的下基板提供了盘的功能。 |
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