| 扫描探针显微镜及其测量方法。 |
| JP2005047858 2005-2-23 发明申请 |
| 2006-9-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜探针，其具有一小的磨损，具有高测量可靠性，可以控制所述探针的扫描容易地行进，和可以扫描样品表面快速当测量所述侧壁，或一个微小的凹槽等，或所述样品表面上等。溶液 : 该方法用于测量所述扫描探针显微镜包括 : 一第一步骤，用于扫描所述探头20在两个该XY的方向或一个方向沿所述样品的表面，同时控制所述位置的所述探针在所述Z在该样品12通过XYZ方向轻微移动机构29，或该等用于一预设的探针行进路径; 一第二步骤，用于获取测量该样品相关的信息到所述的表面由一个测量部分和一位移检测部第一的步骤期间; 一第三步骤，用于确定所述探针第二扫描中的行进路径和一测量位置用于执行测量包括一水平分量到所述探针上的所述样品表面行进路径，基于所获取的测量信息在第二步骤; 和一第四步骤，用于基于包括一水平部件第二上执行测量扫描。版权 : (C)2006，膜℃。 |
微信公众号