| 扫描探针显微镜 |
| JP2005048465 2005-2-24 发明申请 |
| 2006-9-7 |
| 要解决的问题 : 以在方法独立地施加一个偏置电压到一个样品，以切断样品的偏置在测量，以测量所述探针之间的电流，并进一步以减少所述位移电流的影响，当测量电流在一个多探头显微镜中所述探头侧。溶液 : 一样品中用于观察该样品的表面观察装置2通过利用所述之间流动的电流样品2和所述探头3，所述扫描探针显微镜包括至少两个探针3，3‘，其面对所述样品，样品架用于将所述样品，样品偏置电流应用装置用于施加偏置电流到所述样品台，和一个开关，用于电分离所述样品偏置电流应用装置从所述样品架。所述扫描探针显微镜一开关8上的匝数，当所述探头3接近所述样品和关断该开关8，当执行所述的电测量探针3之间，3‘。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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