| 扫描探针显微镜 |
| JP2005051385 2005-2-25 发明申请 |
| 2006-9-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜可具有一稳定的测量和检查的运动而不中断探针通过放电方法最佳地和准确地在短时间甚至如果一种样品是充电在一一晶片或所述列直插式的自动检查过程等。溶液 : 该扫描探针显微镜中，所述探头20设置在所述悬臂的尖端21被允许以该样品12的方法，和所述样品表面的信息是基于获取的所述探针20之间的交互和所述样品12。所述扫描探针显微镜具有一个结构具有测量部分(11，20，21，24，31，32，33，34或该等)，用于测量一个测量该样品的指定位置基于预先登记的信息，和放电部分401; 302，用于排出所述测量该样品在该点的位置基于所述预先登记的信息。版权 : (C)2006，膜℃。 |
微信公众号