| 测量显微镜 |
| JP2005049947 2005-2-25 发明申请 |
| 2006-9-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一种有效测量显微镜测量测试物质的高度。溶液 : 该测量显微镜包括 : 一个白光源4; 一个共焦盘8由一个光发射器8a的其光可以自由穿过，和一个尼普科其共焦小孔8b中的盘8AC的多个小孔被设置的只发送所述光一预定的颜色的(例如，一种颜色与一个低电平的聚焦深度等红色)，和其周围旋转的一个在一预定旋转速度转动轴8aD; 一种照明光学系统2，其中所述的照明光从所述白光光源4照射到所述测试物质通过所述共焦盘8和一预定的透镜系统; 一种测量光学系统3(共焦光学系统); 和一个图像拾取装置12，接收返回的光从所述测试物质14通过所述共焦光学系统2和3，和获取该测试物质14的图像。所获得的测试物质14所述的图像通过所述图像拾取装置12是由在这样的一个使所述的亮场图像的方式所获得的测试物质14通过该传输所返回的光通过所述发射器8A，所述测试获得的物质和所述共焦的图像通过所述传输通过所述Nipkow盘8aC，被重叠。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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