| 扫描电子显微镜 |
| JP2005047724 2005-2-23 发明申请 |
| 2006-9-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能够执行基本分析的一个问题的产生自动观测的执行过程中节省时间和劳动进行再现的测试，便于的一个确认一引导到一个错误的过程。溶液 : 当一个异常被检测到，一种扫描电子显微镜一种记录装置100中存储的图像中提取一个样品43与连续过写入，即，一个样品图像IM(T2)追溯通过一个规定的图像数量(例如，总记录时间T2)预先登记的一个输入\/输出装置42，从样品中存储的图像IM(te)根据与所述定时所产生的所述的误差TE，并将其存储在一记录装置44。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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