| 三维利用原子力显微镜纳米-图案化方法与连续阳极氧化 |
| KR1020040048911 2004-6-28 发明授权 |
| 2006-9-1 |
| 本发明是指碳原子之间的吸引力显微镜(原子力显微镜 : AFM)(纳米-图案化)涉及使用纳米转印方法，而不修改现有的用于AFM，所通常使用的电位器(电位器)以快速的三维图案3使用一旋转重复方法是被提供到。所述被呼叫者他所述碳原子之间的吸引力打开所述的文件夹本发明的由STM所述3-维纳米-传递方法，该像素(像素)分割的转印到3-维的对象，以扫描和用于像素到像素的用于测量所述高度Z-轴方向的一图像分析步骤(a)和一，测得的，作为被抬高部分步骤(a)的像素(层)号的组，用于分类所述温度和气体流划分成组的所述LCD上使用该光致抗蚀剂图案的三维2，用于每个相同的信令电压到时间到到一电压转换的图案(b)和步骤，用于编程，所述编程电压184步骤(b)图案是电位的差值无用的用于实现通过施加到AFM图像包括(c)步骤。 |
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