| 一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备 |
| CN202310688030.5 2023-6-9 发明申请 |
| 2023-10-20 |
| 本发明公开了一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备。方法包括：获取第一成像图和第一聚焦参数，将所述第一成像图分成多个第一子图；获取第一目标子图，根据所述第一目标子图的位置和所述第一聚焦参数获取第二聚焦参数；根据所述第二聚焦参数扫描所述第二聚焦参数对应的位置的样品，得到多个第三目标子图，将所述第一目标子图和第三目标子图合并，得到输出成像图。本发明提供的扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法可以更快速简单的得到更清晰的所述输出成像图，解决了现有技术中当电子束在扫描场扫描时，扫描场边缘区域图像质量模糊的问题。 |
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