| X-Y表和扫描探针显微镜 |
| JP2005037617 2005-2-15 发明申请 |
| 2006-8-31 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题，其特征在于，一个操作行程被大大降低，与所述壳体相比在一个房间温度，当一个样品台是通过驱动一个压电元件在低温度低于液体氮温度。溶液 : 该X-Y表，它是一种X-Y表中的可移动的所述X-方向和Y-方向，其是正交于每个其他，是配备有一弹性可膨胀\/收缩体的至少一个侧在每个方向上邻接所述X-方向和Y-方向的X-Y表和弹性扩张\/收缩通过一种气体压力，并具有一个特征。所述X-Y表是通过移动所述弹性可膨胀\/收缩的膨胀\/收缩体通过所述气体压力引起的。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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