| 光测量装置，光学显微镜，和光学测量方法。 |
| JP2005041795 2005-2-18 发明申请 |
| 2006-8-31 |
| 要解决的问题 : 提供一种光学测量装置，一光学显微镜，和一个光学测量方法允许测量所述的两个-一个待测物体的三维深度W，使用一个简单的结构。溶液 : 连续地发射的光从LD-线中的光-发射元件阵列11被允许通过一图像转子15，其具有不同的旋转角度是可旋转地布置到转动的图像光通过根据所述的旋转角度。然后所述的光允许通过一会聚透镜16会聚和照射在所述对象到被测量W的所述的光，反射离开所述待测物体W，被允许通过所述的图像旋转器15再次返回到所述方向的所述的图像光在光发射。所反射的光被通过一个一维图像传感器17接收到的，在其光接收元件被设置在一单个行。所述所接收的光的量的基础上在所述一维图像传感器17，两个三维深度在所述该待测物体W的表面被测量。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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