| 在扫描电子显微镜观察图像的方法和装置 |
| JP2005037251 2005-2-15 发明申请 |
| 2006-8-31 |
| 要解决的问题 : 以实现一种方法和一种装置，其可以获得一种高分辨率的图像，通过减少电荷的，甚至如果它是一种非导电物质的测试件，例如一个绝缘体，半导体，等溶液 : 当所述测试件被所述绝缘体或半导体，获取所述所述高分辨率的图像需要是以减轻该电荷的影响。一个偏置电压被施加到所述测试件7从一可变功率源11。这种偏置电压的值被设定为2伏或2.5伏，当所述的加速电压一电子枪2是3kV。此外，当所述测试件是倾斜的，它具有变得清晰，其所述该测试片的组合电压值，在其电子束将不曲线和所述加速电压值所述的电子枪的存在。如果所述这种组合是存储在PC13的范围和所述测试件的电压值和所述所述的电子枪的加速电压值被设定的范围内的所述的组合，所述测试件可以被倾斜; 和所述的系统，其中去除该三个测试件的所述电荷可以同时使用。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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