| 扫描探针显微镜 |
| JP2005035943 2005-2-14 发明申请 |
| 2006-8-24 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题,其中所述正确的距离从一样品以一探针不能被检测到的,因为该样品的表面氧化的污染或形成的,当所述探针之间的一个物理量作用使用一单个检测装置和所述样品与一种单一类型的探针。溶液 : 所述扫描探针显微镜是提供与所述面向所述样品探针; 一个扫描器用于相对2D扫描所述样品和所述探针和还改变所述样品之间的距离和所述探针; 至少两个检测装置,用于检测所述物理量激活所述探针和样品之间; 和所述比较和选择装置,用于比较至少两个种类的检测结果从所述检测装置。所述扫描探针显微镜控制该扫描器,基于该检测结果通过比较选择装置选择的。版权 : (C)2006,膜℃。 |