| 电子显微镜和复合照射透镜 |
| WOJP06302884 2006-2-17 发明申请 |
| 2006-8-24 |
| 电子显微镜能重新构建的一种无显微镜图像的所述成像由于该成像透镜的像差使用一种全息图的衍射图案和一个这样的电子显微镜中使用的复合照射透镜。所述的电子显微镜包括一个电子源(11)，一聚光透镜(12)，一种双棱镜(13)用于将电子光束馈送从所述聚光透镜(12)为第一和第二的相干电子光束(L1，L2)平行于每个其它; 一种复合透镜(15)用于制造第一电子束照射(L1)一个平行波和使第二电子束(L2)的会聚波会聚在一预定距离，一用于保持一个试样照射样品台(16)与第一电子束(L1)，一个检测器(17)用于检测所述的全息衍射图案形成通过所述干扰第一和第二之间的电子光束(L1，L2)，一计算单元(18)用于重新构造一个所述的显微镜图像通过对所述全息图馈送样品从所述检测器(17)以预定的傅里叶变换，和一个显示器(19)用于显示所述重新构造的显微镜图像。 |
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