| 对月球表面环境就位测量的原子力显微镜检测方法及装置 |
| CN200610065831.2 2006-3-27 发明申请 |
| 2006-8-23 |
| 本发明公开了一种对月球表面环境进行就位测 量的原子力显微镜检测方法及其装置，包括探头、信号检测与 处理电路、微处理器，还包括对探头进行控制的控制电路和反 馈控制电路，所述控制电路向探头的三维扫描器输出X－Y方 向的电压信号，由三维扫描器驱动微悬臂探针对月球表面物质 进行扫描，微悬臂在扫描过程中发生形变，形变量的大小由信 号检测与处理电路测得，再输出至反馈控制电路，经反馈控制 电路送入微处理器。本发明采用自感知微悬臂，其形变量的测 量由精密前置放大及信号检测与处理电路实现；采用阵列式微 悬臂并有对已损坏微悬臂探针进行自检测和自动置换的功能； 以大范围扫描器驱动微悬臂探针实现对月球表面物质的大范 围扫描；采用轻敲/相位模式获取月球表面物质三维形貌图像； 装置体积小，可自动操作；能够适应超高真空及高低温变化的 工作环境。 |
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