扫描探测显微镜,组合与装置,用于修改对象的表面
 
RU2005126664  2005-8-24  发明授权

2006-8-20
 
  字段 : 测量设备工程,即,工程的装置,用于测量,使用扫描探测显微镜,浮雕的,线性尺寸和物理特性对象的表面的扫描隧道显微镜的模式中,原子力显微镜,近场光学显微镜。物质 : 扫描探测显微镜,组合与装置,用于机械表面的修改的对象,包含低温室,第一机构用于移动对象保持器,第一平台与柱塞,由三个坐标与探针架扫描装置,与配对的装置,用于初步探头支架和物体夹持器的方法,基元件。扫描装置是安装在适配器的装置,用于初步装置的方法。用于初步的方法是保持装置的左上的平台。探针座,扫描装置由三个坐标,适配器,基座元件和第一机构被设置,分别,由第一,第二; 第三,第四和第五的热补偿器。探针架和对象之间的夹持器,连接元件被安装。效果 : 增加分辨率容量的装置。14Cl,11显示
 
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