近场光学显微镜和用于测量样品的方法通过使用近场光
 
JP2005031104  2005-2-7  发明申请

2006-8-17
 
  要解决的问题 : 以提供一种近场光学显微镜能够防止探针从被断开的由于一个样品上的冲击和可靠地使所述探针靠近所述样品在一个短的时间。溶液 : 所述近场光学显微镜包括一种距离检测装置31,其检测该样品之间的距离和所述一种近场光探头的头2,和一距离控制装置15,其使所述近场光探头2和所述样品20靠近近场光学区或其附近,基于参考平面上的位置信息所述近场光探头2。版权 : (C)2006,膜℃。
 
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