| 垂直differantial干涉共焦显微镜 |
| JP2006503718 2004-2-19 发明申请 |
| 2006-8-10 |
| 一种用于测量测量目标的差分干涉共焦显微镜，显微镜，由源侧针孔阵列，探测器侧针孔阵列; 和一种干涉仪，成像针孔阵列的源侧针孔阵列到一第一阵列点位于前的物平面位于靠近其中该对象定位到第二阵列点后面的物平面，其中第一和第二光斑阵列彼此偏离，在两个方向正常的物平面和方向平行于物面，干涉仪还成像点第一阵列在第一图像平面上的探测器背后侧针孔阵列和成像第二斑点阵列在第二前方的图像平面检测器侧针孔阵列，其中每个成像点的第一点阵列对准对应的不同成像的点第二点阵列和对应的不同侧针孔阵列的针孔检测器。 |
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