| 利用激光扫描共聚焦显微镜制作高密度光栅的方法 |
| CN200610011471.8 2006-3-10 发明申请 |
| 2006-8-9 |
| 一种高密度光栅的制作方法，属于光学器件的制 造、光测力学技术领域。本发明是在成熟商品仪器激光扫描共 聚焦显微镜的操作环境中，利用其照明光源所发出的波长在光 刻胶感光敏感波长范围内的聚焦激光点，对光栅基底材料表面 的光刻胶进行扫描曝光，通过调整激光扫描共聚焦显微镜目镜 的放大倍数、扫描线数、扫描次数以及扫描方向，能制作出可 变密度、可变深度的单向光栅、正交光栅或应变花光栅；该方 法的光栅制作原理清晰，操作简单，不需要人为布置光路，以 及精确调整激光束的入射角度等重要参数；无需专业设备投 资，制作成本低。 |
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