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高精度原子力显微镜的镜体
CN200420060440.8 2004-7-23 实用新型
2006-8-9
高精度原子力显微镜的镜体涉及纳米检测装置, 它主要解决高精度地测量绝缘体表面原子形貌的问题,解决的 技术方案是在扫描隧道显微镜镜体的测针与样品台之间加入 微悬臂,并由调节机构控制其位移,样品台下加入下压电陶瓷, 斜面电动调节机构,以控制样品台水平方向扫描,垂直方向位 移,本实用新型的用途是作固体表面的显微分析与纳米加工。
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