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在扫描电子显微镜中形成图像的方法

US11037613 2005-1-18 发明申请

2006-8-3

一种具有许多检测器元件的成像装置，用于在扫描电子显微镜(SEM)中利用来自成像装置的不同元件的信号来构造样品表面的多个图像，同时在SEM中对样品进行单次扫描。