| 具有可移动悬臂的原子力显微镜中的衍射光学位置检测器 |
| US11093187 2005-3-28 发明授权 |
| 2006-8-1 |
| 一种用于光学测量各种物体或物体阵列的位置或角度的装置和方法，包括扫描探针显微镜中的悬臂，微机械生物和化学传感器以及表面轮廓测量中的样品或探针。 本发明涉及使用一个或多个衍射光学元件， 包括衍射光栅和全息图， 与常规光学元件结合， 为了形成多个光束，每个光束具有可选择的形状和强度，来自单个光源，将光束从机械物体反射并处理反射的光束，所有这些光束都以高精度测量这些物体的位置。 本发明也可用于在这些物体中实现机械变化。 具有这些改进的器件具有许多应用，包括分子力测量，原子力显微镜和操作技术，光刻制造，纳米级表面轮廓和纳米技术的其它方面。 |
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