| 扫描电子显微镜及其摄影方法。 |
| JP2005005882 2005-1-13 发明申请 |
| 2006-7-27 |
| 要解决的问题 : 以使在用于拍摄图像的时间和高图像质量降低拍摄兼容在一个扫描电子显微镜用于测量，检查，及缺陷检查或所述的半导体晶片等。溶液 : 通过使用一大束的放大图像拍摄一低电流，和通过拍摄一高倍率的图像使用一个小的束电流，控制用于校正亮度的变化量，焦点偏差，对准偏差，和拍摄视场的偏差由于该变化在所述光束引起的电流是预先在存储器中存储在所述整个控制系统118，和通过校正所述束电流，只要这些被切换，所述的摄影图像被启用，而不调整具有切换后所述光束的工作电流。此外，所述用于切换该电流是通过缩短安装时间中的孔801所照射的路线所述电子束。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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