光学显微镜和显微观测方法。
 
JP2004374603  2004-12-24  发明申请

2006-7-13
 
  要解决的问题 : 以提供一种光学显微装置能够实现小型化的,和显微观测方法利用所述的光学显微装置。溶液 : 所述的光学显微装置1是配备与一个待检查的对象-到-载置台3在其一个对象5以被检查被放置,一种照明装置7输出与其中所述的照明光被检查物体5以被照射,一反射装置15所述的相同侧上提供作为所述照明装置7具有相对于所述对象-到-被检查载置台3和反射照明光输出从所述照明装置7向所述对象5以被检查和还使所述反射的光从该被检查物体5以穿过,和一个物镜17之间提供所述反射装置15和所述待检查的对象-到-将表3。所述照射到被检查物体5与所述的照明光输出从所述照明装置7和反射通过所述反射装置15后,它穿过所述的物镜17,和所述光反射从所述对象待检查它是由入射在所述的物镜17后被会聚在一个点19在空间该物镜17和所述对象之间的5到被检查。版权 : (C)2006,膜℃。
 
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