| 液体浸渍显微镜和缺陷检查装置 |
| JP2004381421 2004-12-28 发明申请 |
| 2006-7-13 |
| 要解决的问题 : 以提供一种液体浸渍显微镜能够填充的浸入样品之间的液体和一种不产生空气气泡的液体浸物镜透镜。溶液 : 该液体浸渍显微镜包括 : 一显微镜光学系统，用于形成所述样品的7的放大图像通过所述物镜透镜12用于液体浸渍，其中所述透镜最近的上表面的观察侧到所述样品7是所述填充的状态浸入液体中的凹16所述样品7和所述物镜透镜12之间; 一种浸渍液体供给装置17用于提供一个浸入液体的液滴16以一个期望的观察部分在该样品7; 一移动装置8用于移动该样品7之间的相对位置和所述物镜透镜12; 和一控制装置，其允许一顶所述物镜的透镜12到接触端与一倾斜所述液滴的部分16a16所述位置上，其中一个所述物镜的光轴Ax12偏离从该中心O所观察的部分和随后控制所述移动装置8使一光学轴Ax的所述物镜透镜12与该中心O所观察的重合部分。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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