| 使用扫描电子显微镜观察样品的方法 |
| US11020265 2004-12-27 发明授权 |
| 2006-7-11 |
| 一种使用扫描电子显微镜观察样品的方法，能够缩短在半导体缺陷自动检查时执行自动聚焦所需的时间，并且提高在其中观察样品的处理中的吞吐量。 在上述方法中， 利用扫描电子显微镜以低分辨率对样品成像以获得图像，从以低分辨率获得的图像中指定用于以高分辨率对样品成像的区域，利用扫描电子显微镜以高分辨率对样品成像以确定焦点位置，将扫描电子显微镜的焦点设置到确定的焦点位置，并且在将焦点位置设置到确定的焦点位置的状态下获取指定区域中的高分辨率图像。 |
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