| 非共焦，共焦，和，用于补偿所述衬底中的介质的折射率失配而造成接口干涉共焦显微镜观察 |
| JP2006503288 2004-2-4 发明申请 |
| 2006-7-6 |
| 制造一干涉式显微镜的对象中的位置的干涉测量是在介质中，有一折射指数之间的失配所述物体和所述介质，显微镜包括用于产生输入光束源，干涉仪被配置为从其接收输入光束并生成测量束，聚焦测量光束导引到选定点在物体并产生用于所选择的点返回测量光束，并将回测量光束和参考光束以产生干扰梁，和检测器系统，其定位成接收干扰梁，其中所说的返回的测量束沿路径从对象检测器系统，其中所述干涉仪包括补偿材料层位于回的测量光束的路径中，补偿层产生失配在折射率沿回的测量光束的路径用于补偿失配之间的折射指数的对象和介质。 |
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