| 晶片传送系统使用扫描电子显微镜 |
| KR1020040117073 2004-12-30 发明申请 |
| 2006-7-6 |
| 目的 : 一种晶片输送系统施加到SEM(扫描电子显微镜)被提供以提高生产率和减少通过使用一种改进的设计制造成本。结构 : 一板(5)和一晶片(3)被安装在一个气缸(6)。通过一轴(4)。所述气缸是用于密封一个上装载器门(20)和一个下装载器门(22)在装载室(10)。一种空气阀(7)和一涡轮泵(8)被安装在所述的装载室。一种第一的突起(24)所述上装载器门和一个第二的突起(25)的所述下装载器门相对，以彼此形成一个开口部分。所述开口部分被闭合，通过使用一种加载器门移动单元(21)。所述加载器门移动单元是向上和向下移动通过该空气缸，kipo2006 |
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