| 校准装置和方法用于扫描探针显微镜 |
| KR1020040116993 2004-12-30 发明申请 |
| 2006-7-5 |
| 目的 : 一种校准装置和用于一种扫描探针显微镜是提供一种方法，以进行强度校正的所述SPM悬臂和测量定量负载与所述SPM。结构 : 一个用于一个扫描探针显微镜校准装置包括一个校正结构(12)，位置感应检测器(16)，和一个扫描器(13)。在所述校正结构，强度在至少一个方向是预先决定的，和该强度是决定要在一个方向移动通过所述通过一个SPM悬臂负载。所述位置感应检测器测量所述SPM悬臂通过使用激光的光位移反射通过该SPM悬臂。所述扫描器(13)基于所述校正的结构决定所述位移在所述之间的差自所述SPM悬臂的位移和所述位移，kipo2006 |
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