| 升降装置,用于交换的束线的扫描电子显微镜 |
| KR1020040114360 2004-12-28 发明申请 |
| 2006-7-4 |
| 目的 : 一种升降装置,用于交换一个束线的扫描电子显微镜被提供给执行容易地一种交换工作和提高检查通过交换性能一个虹膜的扫描电子显微镜通过使用一个滑轮。结构 : 框架单元(10)包括一耦合部件,其被耦合与一基部(11)的一种扫描电子显微镜(1)。一辊单元(20)被安装在所述框架单元。一种绳单元(30)是绕在一外圆周所述辊的辊(21)的单元。所述绳单元的一个端被连接到一个束线所述扫描电子显微镜的。所述绳单元包括多个分开的绳索(31),其被连接到一个所述光束的多个地方的线。kipo2006 |