| 显微镜系统 |
| JP2004361603 2004-12-14 发明申请 |
| 2006-6-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个适当的遮光修正灵活地对应关系，以改变在所述安装环境中效果一种显微镜的系统或照明不均匀。溶液 : 所述的显微镜系统被配备与一阶段，一个物镜光学系统，一个成像光学系统，一个成像部分; 一驱动机构，校准控制器，和一种图像处理部。该级具有一个空间用于安装一个样品。所述物镜光学系统被安装到面对样品。所述成像光学系统图像的所述的光从所述物镜光学系统和形成一个样品图像。所述成像部分图像的样品图像数据通过所述样品图像进行光电转换。所述驱动机构移动该样品的位置。所述校准控制器控制所述驱动机构以使该样品的退避到所述外部该角度视图所述物镜光学系统和获得该图像数据的用于校准包括整个所述物镜光学系统，该成像所述成像部分的光学系统和所述遮光图案。所述图像处理部分来校准所述样品图像数据，通过使用所述图像数据用于校准和产生所述样品在遮光图案图像数据被降低。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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