| 扫描电子显微镜具有三个三维形状的分析功能 |
| JP2004364239 2004-12-16 发明申请 |
| 2006-6-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜进行高精度的三-维分析使用低加速电压。溶液 : 转换电极21a-21d分割成四个被设置靠近一个电子源比二次电子探测器12。所述转换电极21a是设置较高的比底面(样品侧)的一个物镜，一个反射电子23a所述转换电极21a上的碰撞被转换成一个二次电子23b，和通过一个二次电子捕获检测器12a所述转换电极21a附近。类似地，一反射电子23a所述转换电极21b上的碰撞被转换成一个二次电子23b和通过一个二次电子捕获检测器12b，一反射电子23a所述转换电极21a上的碰撞C被转换成一个二次电子23b和通过一个二次电子捕获检测器12c，和一碰撞的反射电子23a与所述转换电极21d被转换成一个二次电子23b和通过一个二次电子捕获检测器12d。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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